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主軸配備高性能交流永磁同步電機，連續(xù)額定輸出扭矩可達13.5N.m。
高性能電機:主軸配備高性能交流永磁同步電機，連續(xù)額定輸出扭矩可達13.5N.m，強勁扭力輕松應對碳化硅等超硬材料的加工需求。
高效率冷卻系統:三段式冷卻結構提升冷卻效率，溫升小，熱穩(wěn)定時間≤20min，熱伸長波動≤100nm。非接觸式軸芯中心出水結構和砂輪冷卻流道同時冷卻軸芯和砂輪，提高加工過程中的精度保持和表面處理質量，減少因溫度波動導致的加工誤差。
高加工質量:主軸全轉速振動≤0.1mm/s，軸向剛度450N/μm，徑向剛度150N/μm，回轉運動誤差低至20納米，使得8英寸工件研磨后表面TTV<3μm，粗糙度Ra≤0.02μm，保障了晶圓等產品的高質量加工。
| 技術參數 |
| 序號 | 項目 | 標準值 |
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